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我国“超等针”X射线成像体系胜利完成自立研制-上海主动化仪表有

宣布时候:2018-11-10 阅读次数:
我国“超等针”X射线成像体系胜利完成自立研制-上海主动化仪表无限公司-上海主动化仪表四厂-上海主动化仪表三厂

克日,****电科38所宣布自立研制的新一代无损检测装备——“超等针”X射线成像体系,这是天下首台“超等针”X射线成像体系。该体系具备“火眼金睛”般的缺点检测才能,成像分辩率小于1微米。

跟着集成电路向高集成度、微型化标的目的成长,进步前辈封装工艺对封装检测装备提出新的须要和挑衅。一方面,更邃密的封装标准请求装备分辩率晋升至亚微米级,但今朝国际上可出产亚微米级分辩率装备的厂商寥寥可数;另外一方面,跟着芯片制作及封装进程中愈来愈多地利用硅、铝、铜、陶瓷等轻元素资料,对轻元素资料的检测须要日趋凸显,对装备检测规模提出了更高请求。是以,更高分辩率、更高对照度、更大检测规模的X射线检测装备,已成为集成电路封装检测行业成长的火急须要。

微核心X射线成像体系是产业无损检测的惯例必备装备,普遍利用于集成电路、电子器件等各类东西的无损检测,可以或许察看物体外部的邃密布局,此中X射线源的机能则间接决议了此类装备的检测才能。超等针是一种实际上的****电子源。

2011年,****电科38所初次提出将超等针利用于微核心X射线源的开辟。颠末近十年的手艺攻关,超等针X射线成像体系*终顺遂问世。今朝,****电科38所针对该产物已请求30余项国际外发现专利,此中请求美、日、欧等国际专利12项。

“超等针”X射线成像体系接纳怪异的“超等针”X射线源专利手艺,可在图象加强器上构成被扫描物体的透视图象。该装备接纳天下****的“超等针”X射线源,因此以“超等针”冠名,具备成像清楚、机能不变、干净度高、超低辐射、低能成像等长处。

****电科38所相干担任人表现,基于超等针X射线源手艺,可面向集成电路、兵工航天、汽车电子、医疗诊断等差别利用范畴,开辟系列超等针X射线成像装备,完成产物系列化、多样化开辟,将来具备较大成长远景。

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